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粉塵傳感器可監測集成電路生產過程中遇到的污染物

     隨著科學技術的發展，許多工業產品的生產加工對生產環境的無塵車間工程中的粉塵濃度提出了很高的要求，這就要求生產環境具有一定的空氣潔凈度和 控制生產過程。 相關物質的供應質量。 例如在膠片生產中，如果膠片沾染了灰塵，會使乳劑氧化，活性減弱，pH值發生變化，從而影響膠片的感光性能。 我們來看看半導體集成電路生產無塵室中使用的粉塵傳感器的解決方案。

      集成電路制造業是一個在超純環境中使用超純材料進行超精細加工的行業。 半導體材料的提純是半導體器件發展的重要基礎。 由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求，為了獲得高純度的硅材料，原材料和中間體的高純度以及高精度恒溫恒濕的生產環境的清潔度 工程已成為影響產品質量的突出問題。

  集成電路芯片的良率與芯片的缺陷密度有關，而芯片的缺陷密度與空氣中顆粒的數量有關。 因此，集成電路的飛速發展，不僅對控制空氣中粒子的大小提出了很高的要求，還需要進一步控制粒子的數量； 同時，也與超大規模集成電路生產環境中無塵車間項目的化學污染控制有關。 要求。

       集成電路生產中可能遇到的主要污染有：顆粒雜質、無機離子、有機物、微生物、氣體雜質。 廣義上講，不適宜的溫度、濕度、照度、過多的靜電、電磁噪聲、空氣噪聲、微振動也是特殊污染物。 其中，當顆粒雜質、無機離子、有機物、微生物、氣體雜質的含量超過一定限度時，會造成集成電路產品表面劃傷、圖案斷開、短路、針孔、剝落，導致電路 漏電，電氣特性異常。 較輕的會影響電路性能和使用壽命，較嚴重的會導致電路報廢。

       針對這種情況，需要使用粉塵傳感器對半導體集成電路生產車間的環境進行監測，確保產品生產環境達到潔凈標準。  Lovemay 推薦使用 LD13C 激光粉塵傳感器來感應煙草、室內灰塵等產生的煙霧和花粉。